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郭国娜电离蚀刻
电离蚀刻是一种先进的微纳加工技术,可以在微米到纳米级别的尺寸上进行高精度的雕刻和刻蚀。它是通过离子束对材料进行电离,产生等离子体,从而在材料表面形成蚀刻槽的一种技术。本文将介绍电离蚀刻的基本原理、优缺...
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